精密氣震平臺配真空高低溫探針臺

應用范圍

適合于光學實驗、激光電子、精密儀器生產檢測、航空航天實驗等領域

1、臺面板厚度

6mm厚1Cr17優質高導磁不銹鋼，均布25mm孔距M6螺紋孔

2、臺體尺寸

600mmx600mmx200mm

3、臺面離地高度

800mm

4、臺體總尺寸

（長*寬*高）

600mm*60mm*800mm

5、固定螺孔

臺面布M6螺孔陣距25mm×25mm

6、臺體內狀結構

蜂窩狀鋼質結構

7、振幅

≤5um

8、臺面平整精度

0.1mm/m²

9、表面粗糙度

0.8μm-1μm

10、固有頻率

垂直3～6Hz 水平3～6Hz

11、負載重量

1200kg

12、臺體支撐方式

支架立柱120x120mm，配8個螺旋升降軸承結構重型支撐腳，高分子復合橡膠墊提供對高頻振動的隔振能力，結構堅固穩定。

13、總質量

14、包裝運輸

木箱包裝不回收，物流運輸送貨上門（不負責上樓）

15、安裝

臺面與支架分別包裝，支架整體發貨，只需用叉車或其他起重設備或專業搬運操作人員，將臺面放置在支架上，通過調節上下8個升降支撐腳達到水平即可使用

16、其他

若需我單位提供售后安裝和搬運上樓，請在購買前與我單位銷售客服人員確定

腔體材質

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側開

加熱臺材質

304不銹鋼

內腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫度

﹣196~350℃

加熱臺溫控誤差

±1℃

真空度

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號接頭

SMA轉BNC X 4

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V

探針數量

4探針

探針材質

鎢針  

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡

物鏡倍數

0.7-4.5倍

工作間距

90mm

相機

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調光源

有

顯示屏

8寸

放大倍數

19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm